在真空烘箱干燥样品过程中，干燥室内的压力始终低于大气压力，气体分子数少，密度低，含氧量低，因而能干燥容易氧化变质的物料、易燃易爆的危险品等。对药品、食品和生物制品能起到一定的消毒灭菌作用，可以减少物料染菌的机会或者抑制某些细菌的生长。
   真空烘箱的过程就是将被干燥物料置放在密闭的干燥室内，用真空系统抽真空的同时对被干燥物料不断加热，使物料内部的水分通过压力差或浓度差扩散到表面，水分子在物料表面获得足够的动能，在克服分子间的相互吸引力后，逃逸到真空室的低压空间，从而被真空泵抽走的过程。
因为水在汽化过程中其温度与蒸汽压是成正比的，其比例关系如图所示。所以真空干燥时物料中的水分在低温下就能汽化，可以实现低温干燥。这对于某些药品、食品和农副产品中热敏性物料的干燥是有利的。
例如，糖液超过70~C部分成分就会变成褐色，降低产品的商品价值；维生素C超过40℃就分解，改变了原有性能；蛋白质在高温下变性，改变了物料的营养成分等。另外，在低温下干燥，对热能的利用率是合理的。